林天河回到家，卻發現老頭回來了。
他孤獨的坐在書房，一隻手拄著腦袋，像個石雕。
林天河好奇的問道：“叔，什麽時候回來的，你這是怎麽了，看著悶悶不樂的？內地的培訓都搞完了？”
老頭語氣有些沉重，歎息著說道：“我上午回來的！哎，國內的光刻機，短時間內恐怕指望不上了！”
這話不啻一瓢涼水，兜頭澆下！
林天河之前還覺得，造光刻機、生產電腦、搞操作係統，隻是事情多了些，完全沒難度嘛！等這些公司上了正軌，自己就可以抱著大把鈔票，在全球股市收割，多美的事情！
現在這是怎麽回事呢？國內已經造出了光刻機了呀，怎麽就指望不上了？
根據他掌握的資料，美國gca公司，於1978年研發成功的dsw4800型步進投影式光刻機，也就投入了500萬美金的研發經費。
而自己給兩家國內企業，各投資200萬美金，再結合當下國內的收入水平和物價，這至少不是相當於投資了1000萬美金？
老頭不等林天河發問，便有些傷心的說道：“看起來，青華精密造出了步進投影式光刻機，你覺得精度稍微提高一些，肯定能夠做出來。但這其中大有問題！”
老頭喝了口水又說道：“我這次親自上手操作了那台機器，速度慢的要死，並且10來片晶圓，才能生產出一顆勉強可用的芯片！其實步進投影式光刻機，基本就是以後光刻機的模樣了。”
“即使後世asml的浸潤式光刻機、極紫外光刻機，基本也是這個樣子了！我能畫出圖紙，造不出來有什麽用？”說完，雙手使勁的往後扒拉——本就不多的頭發，其中的失望，不言自明。
林天河問道：“他們不是已經造出來過了嗎？不就是在現有基礎上，改進一些方案，提高一些精度嗎？怎麽變成這樣了？”
老頭耷拉著眼皮，有氣無力的說道：“在你看來，應該是這個樣子，事實上卻差的很遠！這是實驗室搞出來的試驗品，完全不具備投入工業使用的條件！”
“其一，工業品要求的是無差別複製，這不是一個藝術家大發靈感，畫出世界上獨一無二的畫作！我們要求的是每一件產品的零件、外觀、性能，全部毫無差別複製。”
“其二，作為一台設備，它需要投入工廠中穩定地、連續不間斷地運行的，每年偶爾可能需要檢修幾次，但是大部分時間它都不能停止工作！而不是像青華製作的設備，能連續工作幾個小時，都要看天意！”
老頭講的道理很明了，林天河卻驚訝的合不攏嘴！
他不是驚訝老頭的話，而是驚訝自己與國內企業，在觀念上的巨大差異。
這能算工業設備嗎？這完全就是個工藝品，隻能看，不能用！
老頭抬起頭，接著說道：“你還不知道吧！今年蘇錫市的江南無線電器材廠，耗資6600萬美金，日本東芝引進了一條3英寸晶圓生產線，5微米製程，月產1萬片，主要生產電視機用的集成電路。”
“今年國家外匯如此緊張，現在國內也沒有興起造不如買的風潮，為什麽江南廠不購買國產光刻機？”
是呀，為什麽呢？明明國內能夠生產，卻耗費來之不易的外匯，去國外引進生產線呢？這麽大一筆外匯，國家能同意？
突然，老頭噌的站了起來，一拍桌子，憤怒的說道：“因為那些造出來的光刻機，都是樣子貨！那是政治任務，上級過來檢查檢查，基本就束之高閣了！”
“至於能不能批量生產，能不能大規模商用，沒有一個人關心！並且，上級也知道，生產上不能指望這些設備！”
說完，又頹然的緩緩坐下。
“這——這——這！”林天河這了半天，也想不出合適的詞來形容這麽扯淡的情況。
老頭滿臉無奈，搖著頭說道：“我能夠畫出圖紙，你說有什麽用呀！他們完全造不出來呀！”
林天河一臉疑惑，這都有圖紙了，怎麽會造不出來呢？
沒什麽道理吧？畢竟現在的光刻機，沒有那麽複雜吧？
後世的光刻機有幾萬個零部件，現在才哪到哪呀？
不等林天河發問，老頭接著說道：“光刻機原理其實很簡單，就是把掩膜板的圖紙投射在光刻膠上。你可以看成是，用光去照射一張紙上麵、切割出來的一條條隙縫，漏出來的光投射到光刻膠上。光刻膠感光，變得容易腐蝕。”
林天河想了想說道：“那不就是有些工人先刻出模子，再往上麵塗抹顏料，就出現圖形嘛！這個我懂！”
老頭說道：“那個模子，就類似掩膜板。我先說鏡頭，光越細，就越容易出現幹涉條紋，這個你上中學應該學過。但是光刻機需要高精度，就必須使用短波長的光，現在基本都是用的汞光源的紫外光，就是讓光不產生或者少產生幹涉條紋。”
“但這還是不夠，還要用到鏡頭，通過幾塊、十幾塊、甚至幾十塊透鏡組合，讓光線更好的聚焦。這就要求鏡頭極其光滑，打個比方，如果把一塊鏡頭擴展到地球這麽大平麵，不能有一個幾厘米高的土堆！”
“以後隨著精度的提高，對鏡頭的要求，也會隨之提高！同時，玻璃雖然透光，但是鏡頭多了，光線也會衰減，這就需要透光率更高的玻璃！”
林天河目瞪口呆，他原來知道鏡頭技術含量很高，但沒想到這麽高！
這鏡頭怎麽拋光？
打磨鏡片的師傅手工拋光？
老頭卻猜到了林天河所想，說到：“你想的沒錯，他們現在是使用老師傅手工拋光！那台光刻機上麵的鏡頭，是從幾百片鏡片中挑出來的！”
“我原想，他們既然能夠生產3微米的光刻機了，那鏡頭應該不是問題，實際上卻是大問題！我之前覺得能手搓光刻機，也真夠狂妄無知了！”
老頭滿臉沮喪，他又何嚐不是心裏拔涼？但老頭還沒說完，接著又說到：“不光是鏡頭，工件台的問題也很大！步進投影式光刻機，采用的是縮放投影的方式工作。因此曝光區不再是整個矽片，而是其中的一小塊麵積，所以每曝光一次，矽片就必須移動到下一個區域再曝光，直到全部完成。”
“這樣好處是提高了光刻的分辨率，但是曝光工作大量增加，這就是以犧牲速度換來更高的精度。”
“工件台的定位精度影響對準精度，運動的速度決定了光刻機每小時的矽片曝光量，光刻機的精度和效率全靠工件台的技術水平。 ”
“現在青華那台光刻機，是要精度沒速度，要速度沒精度。他們現在是需要停下來，手動調節，這你敢信？”
林天河原來哪知道這個，他之前聽過雙工件工件台這個名詞，上市的華焯精創他還買過股票。
但是這工件台是怎麽工作的，他是一無所知。
現在總算明白了，這就相當於春節賣對聯，寫一個字，往上麵拉一下紙再寫下一個。拉的位置不準，字寫錯位置，整張紙就廢了。拉的太慢，一上午寫不了幾幅。
當然，人沒有這麽笨，還可以通過手臂調節，寫到正確的位置上的，機器卻不行。
但是青華的光刻機是手動調節？
光刻一個位置後，通過手柄移動位置？
一個位置調節要幾分鍾？幾十分鍾？還是幾個小時？
老頭又說道：“工件台的精度和速度要求極高，需要瞬間急加速然後瞬間急停。後世的工件台按照瞬間的加速度算，已經超過火箭發射升空的速度，而且還需要在下一刻精準的停在位置上，不能出現任何差錯，因為這種速度下任何差錯都沒辦法彌補。錯了雖然不至於整片晶圓報廢，但隻能重來！”
這是人類在與物理極限做鬥爭呀，現在的光刻機要差很多吧？
林天河問道：“那後世的光刻機是怎麽解決這個問題的？有沒有借鑒意義？”
老頭說道：“這方麵的技術思路，最開始使用伺服電機驅動，但是精度不夠。後來改用油壓驅動，又會產生巨大的噪聲和震動。”
“再往後，進步到氣懸浮和磁懸浮。大致思路我知道，但是這個我完全不懂。asml的磁懸浮，再搭配量測工具，那是他們的絕招，不會外傳的。”
這東西，老頭不懂，林天河更是不懂。聽名字，大概知道是什麽東西，但是具體是怎麽工作的？鬼知道！
老頭接著說道：“剛才就說到測量工具，這東西你肯定懂，但是重要性你卻不懂！測量的精度，你更是一無所知！早在1930年代，david mann就製作出了微米輪，可以測量1\/1000毫米。”
“1959年，gca公司收購了david mann創辦的這家機械測量儀器公司，成立了事業部。1961年，david mann公司發布了現代意義上的第一台光刻機，型號971。從這裏你就可以看到測量精度的重要性！”
測量工具的重要性，林天河能夠理解，但是要精密度要多高，老頭沒說。
比如你生產一台光刻機，你怎麽知道能達到什麽光刻精度？
安裝時，地麵的平整度，物鏡與掩膜板的距離，掩膜板與工作台的距離，工件運送矽片的位置，全都需要測量。
他孤獨的坐在書房，一隻手拄著腦袋，像個石雕。
林天河好奇的問道：“叔，什麽時候回來的，你這是怎麽了，看著悶悶不樂的？內地的培訓都搞完了？”
老頭語氣有些沉重，歎息著說道：“我上午回來的！哎，國內的光刻機，短時間內恐怕指望不上了！”
這話不啻一瓢涼水，兜頭澆下！
林天河之前還覺得，造光刻機、生產電腦、搞操作係統，隻是事情多了些，完全沒難度嘛！等這些公司上了正軌，自己就可以抱著大把鈔票，在全球股市收割，多美的事情！
現在這是怎麽回事呢？國內已經造出了光刻機了呀，怎麽就指望不上了？
根據他掌握的資料，美國gca公司，於1978年研發成功的dsw4800型步進投影式光刻機，也就投入了500萬美金的研發經費。
而自己給兩家國內企業，各投資200萬美金，再結合當下國內的收入水平和物價，這至少不是相當於投資了1000萬美金？
老頭不等林天河發問，便有些傷心的說道：“看起來，青華精密造出了步進投影式光刻機，你覺得精度稍微提高一些，肯定能夠做出來。但這其中大有問題！”
老頭喝了口水又說道：“我這次親自上手操作了那台機器，速度慢的要死，並且10來片晶圓，才能生產出一顆勉強可用的芯片！其實步進投影式光刻機，基本就是以後光刻機的模樣了。”
“即使後世asml的浸潤式光刻機、極紫外光刻機，基本也是這個樣子了！我能畫出圖紙，造不出來有什麽用？”說完，雙手使勁的往後扒拉——本就不多的頭發，其中的失望，不言自明。
林天河問道：“他們不是已經造出來過了嗎？不就是在現有基礎上，改進一些方案，提高一些精度嗎？怎麽變成這樣了？”
老頭耷拉著眼皮，有氣無力的說道：“在你看來，應該是這個樣子，事實上卻差的很遠！這是實驗室搞出來的試驗品，完全不具備投入工業使用的條件！”
“其一，工業品要求的是無差別複製，這不是一個藝術家大發靈感，畫出世界上獨一無二的畫作！我們要求的是每一件產品的零件、外觀、性能，全部毫無差別複製。”
“其二，作為一台設備，它需要投入工廠中穩定地、連續不間斷地運行的，每年偶爾可能需要檢修幾次，但是大部分時間它都不能停止工作！而不是像青華製作的設備，能連續工作幾個小時，都要看天意！”
老頭講的道理很明了，林天河卻驚訝的合不攏嘴！
他不是驚訝老頭的話，而是驚訝自己與國內企業，在觀念上的巨大差異。
這能算工業設備嗎？這完全就是個工藝品，隻能看，不能用！
老頭抬起頭，接著說道：“你還不知道吧！今年蘇錫市的江南無線電器材廠，耗資6600萬美金，日本東芝引進了一條3英寸晶圓生產線，5微米製程，月產1萬片，主要生產電視機用的集成電路。”
“今年國家外匯如此緊張，現在國內也沒有興起造不如買的風潮，為什麽江南廠不購買國產光刻機？”
是呀，為什麽呢？明明國內能夠生產，卻耗費來之不易的外匯，去國外引進生產線呢？這麽大一筆外匯，國家能同意？
突然，老頭噌的站了起來，一拍桌子，憤怒的說道：“因為那些造出來的光刻機，都是樣子貨！那是政治任務，上級過來檢查檢查，基本就束之高閣了！”
“至於能不能批量生產，能不能大規模商用，沒有一個人關心！並且，上級也知道，生產上不能指望這些設備！”
說完，又頹然的緩緩坐下。
“這——這——這！”林天河這了半天，也想不出合適的詞來形容這麽扯淡的情況。
老頭滿臉無奈，搖著頭說道：“我能夠畫出圖紙，你說有什麽用呀！他們完全造不出來呀！”
林天河一臉疑惑，這都有圖紙了，怎麽會造不出來呢？
沒什麽道理吧？畢竟現在的光刻機，沒有那麽複雜吧？
後世的光刻機有幾萬個零部件，現在才哪到哪呀？
不等林天河發問，老頭接著說道：“光刻機原理其實很簡單，就是把掩膜板的圖紙投射在光刻膠上。你可以看成是，用光去照射一張紙上麵、切割出來的一條條隙縫，漏出來的光投射到光刻膠上。光刻膠感光，變得容易腐蝕。”
林天河想了想說道：“那不就是有些工人先刻出模子，再往上麵塗抹顏料，就出現圖形嘛！這個我懂！”
老頭說道：“那個模子，就類似掩膜板。我先說鏡頭，光越細，就越容易出現幹涉條紋，這個你上中學應該學過。但是光刻機需要高精度，就必須使用短波長的光，現在基本都是用的汞光源的紫外光，就是讓光不產生或者少產生幹涉條紋。”
“但這還是不夠，還要用到鏡頭，通過幾塊、十幾塊、甚至幾十塊透鏡組合，讓光線更好的聚焦。這就要求鏡頭極其光滑，打個比方，如果把一塊鏡頭擴展到地球這麽大平麵，不能有一個幾厘米高的土堆！”
“以後隨著精度的提高，對鏡頭的要求，也會隨之提高！同時，玻璃雖然透光，但是鏡頭多了，光線也會衰減，這就需要透光率更高的玻璃！”
林天河目瞪口呆，他原來知道鏡頭技術含量很高，但沒想到這麽高！
這鏡頭怎麽拋光？
打磨鏡片的師傅手工拋光？
老頭卻猜到了林天河所想，說到：“你想的沒錯，他們現在是使用老師傅手工拋光！那台光刻機上麵的鏡頭，是從幾百片鏡片中挑出來的！”
“我原想，他們既然能夠生產3微米的光刻機了，那鏡頭應該不是問題，實際上卻是大問題！我之前覺得能手搓光刻機，也真夠狂妄無知了！”
老頭滿臉沮喪，他又何嚐不是心裏拔涼？但老頭還沒說完，接著又說到：“不光是鏡頭，工件台的問題也很大！步進投影式光刻機，采用的是縮放投影的方式工作。因此曝光區不再是整個矽片，而是其中的一小塊麵積，所以每曝光一次，矽片就必須移動到下一個區域再曝光，直到全部完成。”
“這樣好處是提高了光刻的分辨率，但是曝光工作大量增加，這就是以犧牲速度換來更高的精度。”
“工件台的定位精度影響對準精度，運動的速度決定了光刻機每小時的矽片曝光量，光刻機的精度和效率全靠工件台的技術水平。 ”
“現在青華那台光刻機，是要精度沒速度，要速度沒精度。他們現在是需要停下來，手動調節，這你敢信？”
林天河原來哪知道這個，他之前聽過雙工件工件台這個名詞，上市的華焯精創他還買過股票。
但是這工件台是怎麽工作的，他是一無所知。
現在總算明白了，這就相當於春節賣對聯，寫一個字，往上麵拉一下紙再寫下一個。拉的位置不準，字寫錯位置，整張紙就廢了。拉的太慢，一上午寫不了幾幅。
當然，人沒有這麽笨，還可以通過手臂調節，寫到正確的位置上的，機器卻不行。
但是青華的光刻機是手動調節？
光刻一個位置後，通過手柄移動位置？
一個位置調節要幾分鍾？幾十分鍾？還是幾個小時？
老頭又說道：“工件台的精度和速度要求極高，需要瞬間急加速然後瞬間急停。後世的工件台按照瞬間的加速度算，已經超過火箭發射升空的速度，而且還需要在下一刻精準的停在位置上，不能出現任何差錯，因為這種速度下任何差錯都沒辦法彌補。錯了雖然不至於整片晶圓報廢，但隻能重來！”
這是人類在與物理極限做鬥爭呀，現在的光刻機要差很多吧？
林天河問道：“那後世的光刻機是怎麽解決這個問題的？有沒有借鑒意義？”
老頭說道：“這方麵的技術思路，最開始使用伺服電機驅動，但是精度不夠。後來改用油壓驅動，又會產生巨大的噪聲和震動。”
“再往後，進步到氣懸浮和磁懸浮。大致思路我知道，但是這個我完全不懂。asml的磁懸浮，再搭配量測工具，那是他們的絕招，不會外傳的。”
這東西，老頭不懂，林天河更是不懂。聽名字，大概知道是什麽東西，但是具體是怎麽工作的？鬼知道！
老頭接著說道：“剛才就說到測量工具，這東西你肯定懂，但是重要性你卻不懂！測量的精度，你更是一無所知！早在1930年代，david mann就製作出了微米輪，可以測量1\/1000毫米。”
“1959年，gca公司收購了david mann創辦的這家機械測量儀器公司，成立了事業部。1961年，david mann公司發布了現代意義上的第一台光刻機，型號971。從這裏你就可以看到測量精度的重要性！”
測量工具的重要性，林天河能夠理解，但是要精密度要多高，老頭沒說。
比如你生產一台光刻機，你怎麽知道能達到什麽光刻精度？
安裝時，地麵的平整度，物鏡與掩膜板的距離，掩膜板與工作台的距離，工件運送矽片的位置，全都需要測量。