綠城市。


    2007年元旦剛過。


    高新區真理電子工廠,迎來了京城科工委的專家調研團。


    由於趙主任親自掛帥,使得平原省、綠城市兩級部門不敢怠慢,主要領導都到場親自陪同。


    這樣的大陣仗,林暢也是第一次麵對。


    他準備了簡短的歡迎儀式,然後陪同著領導和專家們一起進入廠區。


    主要經辦人劉彬、許安易,給來訪的眾人講解矽片廠、晶圓廠的建設情況。


    花費了一個多小時,領導們和專家團在廠區內的建設工地,走馬觀花的看了一遍。


    京城大學的齊教授感慨道:“國內投建的幾家芯片製造廠,我都參與或實地了解過,沒想到你們的廠房建設,竟然全是自研技術,而且指標還這麽高!”


    許安易笑著回道:“我們在晶圓廠內的布局上,也參考了不少國外的方案。”


    “但世界上目前已經投產、最先進的隻有65納米工藝,而我們的目標是45納米製程甚至更小,而且還是12寸的大晶圓,需求的生產環境差別比較大,沒有參照對象隻能自己建立新的指標和要求。”


    對於他自誇式的回答,不少專家都皺起了眉頭。


    某大學教授沉聲道:“不管你們廠房的建設技術是自研還是引進的,但話還是不要說太滿!據我所知,因特爾對於45納米的研究很早就開始了…”


    旁邊一位中年教授也插話道:“有幹勁是好事,但口號喊得再大也沒用,得拿出真材實料來,不要像那個研發‘漢芯’的人一樣鬧出笑話!”


    專家團來之前,看了不少這次調研對象的技術資料。


    真理科技宣稱成功研發的12寸晶圓技術,就已經夠讓人吃驚了,更別說比世界、比燈塔國都要先進的45納米製程了。


    曾經獲獎無數的“漢芯”專家,造假吹牛都不敢說這麽大,超越世界的製程技術是那麽容易的?


    一旁陪同的綠城市市長蔡元嬰,聽到這麽多專家質疑,心裏很是不平。


    他站出來笑著說道:“林總,要不咱們直接去實驗室,看看你們的設備?畢竟領導和專家們隻看過上報的技術資料,還沒見到過實物啊。”


    趙主任笑嗬嗬的看了蔡元嬰一眼,也說道:“真理科技之前的成就,已經得到了充分驗證,我們這次興師動眾的過來,也是為表達部委乃至國家對你們的重視,所以林總方便的話,就優先展示你們在芯片製造領域的重要技術成果吧。”


    林暢笑著點點頭,“沒問題,大家請跟隨我去那邊的實驗樓。”


    實驗樓一樓。


    這裏整層都被改造成芯片實驗室,已經小批量的在試生產芯片了。


    劉彬作為真理半導體的負責人,從晶圓的加工設備開始,一路帶著大家觀看切割、研磨等各個工序。


    然後是光刻、刻蝕、沉積...直到封裝測試的整個工藝流程。


    穿著防護服的劉彬,指著剛剛完成封裝的一批45納米製程芯片,大聲的宣講著:


    “各位領導,各位專家,矽晶的製備設備我們也已經製造完畢,但在實驗樓不好部署展示。”


    “目前能看到的工藝流程中,包括eda芯片設計軟件,掩膜板的製作,光刻機以及重要的耗材等,這些核心設備全都是我們獨自研發,次要設備是在國內相關廠家定製的,整個芯片製造產線可以說是100%夏國製造!”


    他的話音剛落,領導和專家團便激動的鼓起了掌!


    整個參觀過程大家都是靜默的,誰也沒想到這個麵積龐大的實驗室裏,如此先進的設備竟然都是自研的。


    那台名為zl400的浸沒式duv光刻機,采用了193納米arf光源,這可是比荷蘭asml公司正在研發的xt1900i,更早實現了量產45納米製程芯片啊。


    而最牛x的是,真理科技竟然同時研發出生產5納米以下芯片的euv光刻機,雖然目前光源曝光率還比較低,但這可是世界獨創!


    驚歎過後,專家都在圍著真理科技的研究員們,詢問相關的技術問題,也有不少人在測試機上查看產出芯片的參數。


    而來自某光學研究所的李工,卻拉著劉彬走到一旁,詢問euv光刻機中的紫外線是靠什麽產生的。


    劉彬笑道:“李工,我們林總親自設計了一款激光放大器,將較弱的激光脈衝提升至一萬次,最終輸出的平均脈衝功率穩定在25千瓦,這才基本滿足了光刻所需的極紫外線,後續我們的目標是40千瓦。”


    李工點點頭道:“這已經很不容易了,那你們的發射器的光學組件也是自己製造的嗎?”


    “是的,從oled 屏幕真空蒸鍍機延伸出的鍍膜技術。”劉彬想到林暢的囑咐,回答的很幹脆。


    參觀完實驗室後,眾人來到工廠一處辦公樓的會議室。


    趙主任和平原省一把手王石故意坐在最後麵一排,把前麵位置讓給專家團們。


    “石港同誌,我得先道個歉,之前否了你們省裏申請的扶持政策,是我先入為主了。”


    聽到部委趙主任的誠懇話語,王石岡忙笑道:“這怎麽能怪你呢,沒有技術專家確認前,我們所有人也是不敢信的。”


    趙主任點點頭,看著前麵真理科技的主要研究人員都在忙著回答專家們的提問。


    他歎了口氣道:“真是沒想到,真理科技能創造這麽多奇跡,部委之前的重視還不夠啊!”


    會議室內已經開成了學術發布會,劉彬,許安易以及多位研究人員配合著,把芯片研究方麵的技術細節講的很透徹。


    過了半個多小時後。


    不遠處的辦公室內。


    趙主任,王石岡,和林暢進行了私下交談。


    林暢感謝完趙主任二人的讚揚後,笑著說道:


    “趙主任,剛才您提出的一係列扶持政策,以及補貼資金,已經讓我們受寵若驚了!關於您詢問一些加工技術或設備,能否支援國防建設....”


    趙主任聽到這裏,擺手打斷了林暢的話,他笑著搖頭道:“剛我所說的可不是支援的意思,部委肯定會給你們相應補償的,隻是你們有些技術對於國家太重要了,其實也並不好完全市場化運作,小林,你能理解嗎?”


    林暢說道:“我理解您的意思,作為夏國一份子我還是懂的輕重的,隻是....”


    “你有什麽顧慮或者要求可以提,技術所有權終究是你們自己的,部委或涉密項目采用了也一定會給與相應補償或回報的!”


    林暢聞言,臉上露出了笑容,“領導,我有個想法,真理科技可以再設立一家子公司,技術呢,通過這家公司授權給需要的單位,而我隻希望,這家子公司可以獲得國防領域相關的資質。”


    “你們還想朝軍工這條路走?”趙主任有些驚訝。


    “在電子信息領域,現在已經涉及了不少了呀,跟您來的那位李工,想必是研究激光武器類的專家吧,我個人其實對武器、機器人、航天等,都有著很大興趣。”


    見林暢說完後盯著自己看,趙主任笑了起來。


    “很多人都說真理科技的研究團隊人均學曆不高,但公司舍得花錢實驗,才能產出這麽多成果,其實大家都忽略了最關鍵的部分,那就是小林你啊。”


    “你不用忙著謙虛,從劉彬等研究人員看你的眼神中,我就知道,哪裏是靠錢就能讓他們對你如此崇拜啊!”


    趙主任打趣完,正色道:“小林,你既然願意用這樣的方式和部委合作,那我可以同意,不過這家公司,部委或者其他主體,得在其中占一定比例的股份,但不會參與管理,這條件你能接受嗎”


    林暢稍一遲疑後,馬上點頭,“我同意!”

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