盛明安單手撐著臉頰，垂眸望著褐色濃茶泛起的漣漪，思索光源係統中使用的激光器，製造合適光源的激光器結構即前置放大器和主放大器的輸出激光和功率，應該怎麽配合交替使用？
激光器信號增益與氣體壓力成反比的前提下，係統可考慮使用快橫流co2技術。
其次是光源優化。
基於粒子群優化算法，公式v^(k+1)=wv^(k)……
光源與掩膜、光源歸一化……
“明安？……盛明安？”
盛明安回神，對上陳驚璆沉靜墨黑的眼睛，食指輕輕撓了撓臉頰問：“有事嗎？”
陳驚璆無奈：“休息時間也能走神？”
盛明安：“在想激光器結構和光源優化的算法。”
陳驚璆：“休息就是讓大腦放空、放輕鬆，你看林成建他們一到休息室就喝茶八卦，絕口不提科研項目。”
盛明安回頭一看才發現林成建他們都走了。
“他們剛剛在討論雙工作台研發團隊，互相攀比，我覺得壓力太大，所以不想聽。”
陳驚璆盯著盛明安，幾秒後下結論：“撒謊。你恐怕不知道壓力兩個字怎麽寫。”
盛明安撐著頭直視陳驚璆的目光，眉眼彎彎：“我真的有壓力，六月提交提前畢業申請，時間上來不及修補剩下的兩年學分，隻能盡快解決光源係統，靠這個讓學校網開一麵，同意你我以特殊人才的身份補完學分。”
陳驚璆拿起手肘邊的白瓷杯子倒黑咖啡，一邊操作咖啡機一邊說：“不用算我，我學分修得差不多了。”
盛明安愣住：“你哪來的時間修學分？”
陳驚璆失笑：“我不像你必須整天泡在實驗室裏跟研發進度，除了工作上一些事需要處理，其他時間很閑的。”
是嗎？盛明安有些懷疑，他一直以為陳驚璆很忙。
事實是陳驚璆不像他嘴上說的那麽閑，他隻是善於利用每一分每一秒，懂得如何處理兩件同等級重要的事在時間與空間上發生不相容的矛盾。
事關情商，以及一種從縫隙中掙紮著艱難求生而練就的本領，那是簡單透明的盛明安學不來、也不能懂的。
陳驚璆伸出手，說：“保溫杯給我，我幫你重新沏壺茶。”
盛明安的目光落在陳驚璆攤開的手掌，掌心白皙幹淨，掌紋清晰，紋路很深，代表感情線的紋路長得深入食指和中指中間的縫隙。
感情線的紋路越深、越長，代表其主人越情深意重。
盛明安將手肘邊的保溫杯遞給陳驚璆，後者接過去，打開蓋子倒出裏麵沒濾幹淨的茶渣，然後從茶水櫃裏重新翻出幾罐不知什麽品種的茶葉。
什麽茶葉該抓多一點，什麽該抓少一點，陳驚璆好像拿了把稱稱過一樣，抓好後放進過濾包，開熱水衝泡一遍，倒掉，再衝泡，動作行雲流水。
挽到手肘處的袖口不小心掉下來，陳驚璆隨手捋回去，腕骨還是很突出，瘦得嶙峋鋒利，卻不缺乏力量感。
盛明安眨了眨眼睛，在陳驚璆遞來保溫杯時，忽然握住陳驚璆的手腕，發現還差一大截才能完全圈住。
他手指已經夠修長了，誰知還是圈不住陳驚璆的手腕。
怪不得陳驚璆的手腕看上去那麽瘦卻仍飽含力量，因為骨骼大，覆著一層精瘦的皮肉，所以看上去格外鋒利。
陳驚璆呼吸一窒，喉結滾動：“你……幹什麽？”
盛明安抬頭：“我圈不住。”
距離挺近的，陳驚璆晃神。
盛明安這兩年長開了，從少年成長為身形修長挺拔的青年，麵孔更加豔麗，眉眼精雕細琢似的，乍然靠近會被這股靡麗清冷衝擊得神魂顛倒。
盛明安覺得沒什麽趣味便要縮回手，陳驚璆突然拽住他的手，柔軟白皙，有點幹燥，骨肉均勻，指尖泛著健康的粉色，他情不自禁就想親吻這漂亮可愛的手指指尖。
“陳驚璆？”
連喚了幾聲，陳驚璆才從旖旎的情思中回神，對上盛明安疑惑的目光，若無其事的放下他的手：“突然碰我手腕被癢到了，條件反射。”
“哦。”盛明安沒懷疑什麽，接過保溫杯，捏了捏有點酸的肩膀，同陳驚璆說：“光源係統研發到關鍵時刻，我就不去午休浪費時間了。”
陳驚璆的心髒還滾燙著，聞言沒有多加挽留勸阻，點頭應和一句我也去忙手裏的活。
兩人一起離開茶水間，前往地下實驗室，途中看到計海從辦公室裏行色匆匆出來，進入電梯回到一樓，估計是又翹班離開。
盛明安：“計海這人不盡快處理掉嗎？”
計海幾個月沒跟鄭河聯係，他們一致猜測是鄭河不覺得藍河科技會對鴻芯產生威脅，因此放棄竊取藍河科技核心技術，同時放棄計海這顆棋子。
但陳驚璆至今沒處理掉計海，盛明安有些不解。
“他在也不礙事。”陳驚璆說：“而且我希望能物盡其用。”
言下之意，現在弄走計海不能利益最大化。
盛明安‘哦’了聲，想起什麽似的，提醒道：“陳天鶴跟鴻芯可能有點關係。”
陳驚璆側過臉，目光有些銳利：“明安怎麽知道？”
明安？
沒人這麽喊過他，但最近陳驚璆幾次脫口而出都這麽喊，脫掉一個姓氏隻喊名字顯得無比親近曖昧。
盛明安回他：“前年外公公司董事強烈要求投資鴻芯，所以我留意到鴻芯的同時，也發現陳天鶴和鴻芯的關係有些奇怪。我懷疑，陳天鶴很可能是鴻芯幕後老板。”
他當然不能說是係統告訴他這個秘密。
陳驚璆低聲：“隻要你注意到，果然就瞞不過你。”
這話的意思是他也早就察覺到陳天鶴和鴻芯之間的關係？
陳驚璆：“你放心，我早有防備。”
盛明安回應了聲，揮揮手，去換了一身進無塵恒溫實驗室的裝備，進入實驗室。陳驚璆也進去忙碌了一陣，期間被林成建喊出來。
林成建：“曹書記找你。”
陳驚璆摘下麵罩和口罩，脫手套的動作一頓，“津市市委副書記曹文翰？”
林成建：“對。”
陳驚璆腦子裏梳理了一遍近來發生的事，最終笑說：“看來鴻芯撐不下去就快宣告破產了。陳天鶴居然連做個樣子也沒有就直接放棄，不過曹文翰找到藍河科技，應該是鴻芯破產的風波波及麵超過我們當初的預估。”
他對陳天鶴非常了解，知道這個人唯利是圖，不可能真費力燒錢搞光刻機。
鴻芯和革芯又是同行項目，他一直暗中關注鴻芯項目的研發進度，而且非常清楚對方光刻機的研發進度，畢竟不是隻有鄭河想得出臥底這一招。
鴻芯會破產，早晚的事。
脫掉手套和身上的實驗服，整齊掛好，標上名牌，關上櫃門，陳驚璆套上一件薄款休閑西裝外套，大步向外走去。
“曹文翰走上藍河科技，應該有人指點。”林成建說。
陳驚璆：“陳天鶴肯定是其中一個。”
兩人一前一後回到頂樓見親自來訪的曹文翰，辦公室大門關起來，雙方不知道在裏頭談了什麽。等日頭漸漸西斜，曹文翰才滿麵春風的出來，同送他到電梯門口的陳驚璆握手就走了。
曹文翰訪問藍河科技，沒怎麽驚動別人，但回去市政府大樓便著手處理鴻芯落下來的一係列麻煩，動作雷厲風行，甚至有點破罐破摔無所謂津市半導體產業的發展，不再急於周旋美國商務部。
一時間更是人心惶惶。
***
五月初，鴻芯苦苦支撐，賣掉價值4億的光刻機，抵押設備和土地，緩解資金困窘，但芯片斷供一日未解決，就是再多錢填進去也毫無用處。
同樣受芯片斷供拖累的公司還有華興，以及其他諸多下遊產業。
半導體業界內其他關聯公司眼看華興和鴻芯被美國商務部簡單一個芯片出口禁令就狼狽至此，不由產生唇亡齒寒之感，因此私底下悄悄出力，盡量拖延生存時間。
水木大學的教授研發出光刻機雙工作台這一消息傳出，成為業界一劑振奮劑，為萎靡不振的華國半導體產業注入一點蓬勃的力量。
五月底，藍河科技實驗室內，光源係統進入驗收階段。
與春城光機所合作，由春城光機所入股的國科精密提供的光學係統（一係列精密鏡頭、反射鏡和透鏡等光學元件係統），在此光學係統的基礎上進行光源係統的實驗驗收。
盛明安擔任該光源係統總工程師，左手旁是程院長，右手是陳驚璆，身後分別是雷客一行人以及程院長帶來的研發團隊。
原本光源係統研發進程沒這麽快，但有了程院長的研發團隊便如虎添翼，進程迅速縮短一半。
現在正是光源係統的驗收時刻，不是在電腦軟件上運行的仿真建模，而是真實設備的光源係統實驗驗收階段！
雷客緊張的吞咽口水，眼角餘光瞥見杜頌這家夥緊張得手臂打擺！
真沒出息！
他這麽想著，渾然不知道自己的表現也好不到哪去。
在場估計沒人不緊張，哦，盛明安除外，任何重大科學工程驗收階段，他都表現得非常淡定，好像一個局外人，讓人即羨慕又嫉妒。
程院長看了眼右邊的電子表，此刻時間是19點42分31秒。
他輕聲說：“開始吧。”
頓了頓，程院長說：“盛工，你來吧。”
“唔？”盛明安有點詫異，老實說程院長無論資曆還是輩分都比他高幾輪，被長輩喊‘盛工’、謙讓，他不太好意思：“您喊我名字就行。光源係統的研發也有您的一份力，還是您來。”
程院長擺擺手笑著拒絕：“我這輩子扛過不少科學大工程的驗收階段，不至於跟年輕人搶一個光源係統的實驗驗收。再說光源係統主要是你一手策劃完成，我隻是個半路殺出的輔助，行了別推辭，再推讓下去該下班了。”
行吧。盛明安點點頭，示意身後研發團隊各就各位，緊盯前方全套的光源係統設備，沉著冷靜的說：“開始驗收。準備——”
“已啟動數據記錄，光源驗收記錄，功率消耗記錄。”
“靶材裝置確定裝載完畢。”
“電源確定。”
“三萬瓦二氧化碳脈衝激光器進入預熱狀態。”
“……”
接二連三的報告在空曠蒼白寂靜的實驗室中此起彼伏，每一句報告簡短有力，錯落有序，整潔飛快，無端感染在場其他等待驗收成果的研發團隊成員緊張期待的心情。
“啟動二氧化碳脈衝激光器！”
話音一落，盛明安按下開關按鈕，眾人抬頭看向前方恒溫無塵實驗室內的光源係統設備，一塵不染的銀白色設備在冷光下散發出奇妙無機質的機械美。
機械表麵很平靜，盛明安等人看不到內部正在發生的變化，他們隻能通過最終結果判斷是否成功，而過程很短暫、很快速，快到頻率一秒五萬次！
盛明安的黑科技係統可以窺探機械內部的變化，它切換視角幫助盛明安進入光源係統設備內部查看實驗。
視角先是銀白色的機械，瞬間穿入內部複雜得宛如一個巨大的機械加工廠的設備，時間和空間被虛化，內部一片黑暗，若鴻蒙未開的混沌宇宙。
突然前方一個閃亮的光點，先是四條頭發絲大小的曲線包圍成一個圓圈，圓圈中心一點亮光逐漸向外擴張，由圓點擴張成橢圓形，光越來越盛、越來越亮，猛然爆發出閃亮耀眼的白光，瞬間照亮黑暗的內部，一條細長發亮的紫光倏然躥出發光口，通過圓形長管，進入光束矯正器，通過能量轉換器……
最終擊中直徑30μm的靶材料（錫液滴）。
視角追隨其中一條光線，忽然向後拉遠，視角範圍內出現數以萬計的紫色細長光線穿過一個又一個圓形長管最後以平均兩次擊中同一靶材料電離錫原子，釋放等離子體，激發納米級光子，完成光刻機的曝光步驟。
視角再向後拉遠，饒是有著先進兩百年的科技技術的係統也不由為這號稱工業皇冠的euv工作時的內部所震撼。
激光經過多重反射鏡均勻化、收集，投影掩膜，擊中靶材料，獲取需求中的等離子體。
接下來是利用收集鏡收集等離子體發散的euv輻射匯聚成光源發送至光刻係統，並經由曝光係統獲取最終的ic晶圓。
但盛明安的團隊沒有做後麵的兩步，隻設計了光源係統的實驗設計。
一秒鍾五萬次的高頻率，不僅需要確保過程不出錯，還必須保證準度、精確度，可量產，以及功率利用最大化等等……
所以一次的實驗結果不能證明什麽，他們連續實驗多次，記錄數據作比對，計算出一個最優概率。
鍵盤劈裏啪啦的計算，所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜頌的胳膊，齜牙咧嘴：“giao！怎麽樣了？！”
杜頌也疼得齜牙咧嘴，差點猛男落淚：“我不知道。”
助手姑娘又沒想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，內心嗚嗚穿防塵服的盛工就算從頭包到腳還是無比帥氣，所以快點告訴她結果吧！
盛明安：“各組報告結果。”
來了！
眾人振奮！
一組報告：“二氧化碳脈衝激光器無損，功率消耗在預估範圍內，光線利用率成功達到2%！”
二組報告：“散熱係統啟動！散熱功能正常！”
三組報告：“傳感器反饋激光和液滴同步對準，激光等離子體在預估範圍內捕獲！”
四組報告……
隨著一個又一個與仿真預估無二的報告傳入眾人耳中，預示著光源係統設備實驗驗收圓滿完成！
眾人憋著一口氣沒出聲，就等著盛明安總結。
盛明安不負眾望，聽完各組結果報告，對著擴音器宣布：“高階光刻機光源係統技術研究項目圓滿通過驗收，”他稍稍提高音量，“我們的科研項目，激光等離子體極紫外光刻光源是——”
“13.5nm！”
原本想歡呼的眾人臉上剛升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐漸放大，呼吸急促，不敢置信，紛紛以為自己的耳朵壞了，他們出現了幻聽。
盛明安語氣裏流瀉出輕鬆的笑意：“恭喜大家。”
見眾人沒反應，他回頭，疑惑：“你們不滿意嗎？”
林成建也懵了，小心翼翼地詢問：“盛工，你剛才說13.5nm……不是16nm？”
同盛明安爭論了將近半個月早已震驚過的程院長好笑地環顧眾人表現不一的樣子。
雷客比林成建還小聲輕柔：“比asml euv的14nm還精確了0.5nm？”
杜頌捂著心髒，喃喃說道：“不是吧……我整天研究的就是這麽牛逼的玩意？”
助理姑娘掐得更狠了，但杜頌激動的靈魂和興奮的神經可以撫平身體的疼痛。
“啊，”盛明安下意識看向陳驚璆：“你們都有異議嗎？”
陳驚璆驚訝過後便是一笑：“沒有異議。他們驚喜過頭了。”
盛明安又看向林成建等人，誰知他們麵麵相覷，陷入沉默，一秒、兩秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”
猛然爆發的尖叫聲繼續震破實驗室的天花板，要不是固化玻璃隔絕了噪聲汙染不會影響到實驗室設備，熱愛實驗室設備的盛明安就該拉下臉，而負責掏錢買設備的陳驚璆應該會冷臉趕人出去了。
但無傷大雅的此刻，他們縱容每一個團隊成員盡情放縱無以言表的興奮和激動。
激光器信號增益與氣體壓力成反比的前提下，係統可考慮使用快橫流co2技術。
其次是光源優化。
基於粒子群優化算法，公式v^(k+1)=wv^(k)……
光源與掩膜、光源歸一化……
“明安？……盛明安？”
盛明安回神，對上陳驚璆沉靜墨黑的眼睛，食指輕輕撓了撓臉頰問：“有事嗎？”
陳驚璆無奈：“休息時間也能走神？”
盛明安：“在想激光器結構和光源優化的算法。”
陳驚璆：“休息就是讓大腦放空、放輕鬆，你看林成建他們一到休息室就喝茶八卦，絕口不提科研項目。”
盛明安回頭一看才發現林成建他們都走了。
“他們剛剛在討論雙工作台研發團隊，互相攀比，我覺得壓力太大，所以不想聽。”
陳驚璆盯著盛明安，幾秒後下結論：“撒謊。你恐怕不知道壓力兩個字怎麽寫。”
盛明安撐著頭直視陳驚璆的目光，眉眼彎彎：“我真的有壓力，六月提交提前畢業申請，時間上來不及修補剩下的兩年學分，隻能盡快解決光源係統，靠這個讓學校網開一麵，同意你我以特殊人才的身份補完學分。”
陳驚璆拿起手肘邊的白瓷杯子倒黑咖啡，一邊操作咖啡機一邊說：“不用算我，我學分修得差不多了。”
盛明安愣住：“你哪來的時間修學分？”
陳驚璆失笑：“我不像你必須整天泡在實驗室裏跟研發進度，除了工作上一些事需要處理，其他時間很閑的。”
是嗎？盛明安有些懷疑，他一直以為陳驚璆很忙。
事實是陳驚璆不像他嘴上說的那麽閑，他隻是善於利用每一分每一秒，懂得如何處理兩件同等級重要的事在時間與空間上發生不相容的矛盾。
事關情商，以及一種從縫隙中掙紮著艱難求生而練就的本領，那是簡單透明的盛明安學不來、也不能懂的。
陳驚璆伸出手，說：“保溫杯給我，我幫你重新沏壺茶。”
盛明安的目光落在陳驚璆攤開的手掌，掌心白皙幹淨，掌紋清晰，紋路很深，代表感情線的紋路長得深入食指和中指中間的縫隙。
感情線的紋路越深、越長，代表其主人越情深意重。
盛明安將手肘邊的保溫杯遞給陳驚璆，後者接過去，打開蓋子倒出裏麵沒濾幹淨的茶渣，然後從茶水櫃裏重新翻出幾罐不知什麽品種的茶葉。
什麽茶葉該抓多一點，什麽該抓少一點，陳驚璆好像拿了把稱稱過一樣，抓好後放進過濾包，開熱水衝泡一遍，倒掉，再衝泡，動作行雲流水。
挽到手肘處的袖口不小心掉下來，陳驚璆隨手捋回去，腕骨還是很突出，瘦得嶙峋鋒利，卻不缺乏力量感。
盛明安眨了眨眼睛，在陳驚璆遞來保溫杯時，忽然握住陳驚璆的手腕，發現還差一大截才能完全圈住。
他手指已經夠修長了，誰知還是圈不住陳驚璆的手腕。
怪不得陳驚璆的手腕看上去那麽瘦卻仍飽含力量，因為骨骼大，覆著一層精瘦的皮肉，所以看上去格外鋒利。
陳驚璆呼吸一窒，喉結滾動：“你……幹什麽？”
盛明安抬頭：“我圈不住。”
距離挺近的，陳驚璆晃神。
盛明安這兩年長開了，從少年成長為身形修長挺拔的青年，麵孔更加豔麗，眉眼精雕細琢似的，乍然靠近會被這股靡麗清冷衝擊得神魂顛倒。
盛明安覺得沒什麽趣味便要縮回手，陳驚璆突然拽住他的手，柔軟白皙，有點幹燥，骨肉均勻，指尖泛著健康的粉色，他情不自禁就想親吻這漂亮可愛的手指指尖。
“陳驚璆？”
連喚了幾聲，陳驚璆才從旖旎的情思中回神，對上盛明安疑惑的目光，若無其事的放下他的手：“突然碰我手腕被癢到了，條件反射。”
“哦。”盛明安沒懷疑什麽，接過保溫杯，捏了捏有點酸的肩膀，同陳驚璆說：“光源係統研發到關鍵時刻，我就不去午休浪費時間了。”
陳驚璆的心髒還滾燙著，聞言沒有多加挽留勸阻，點頭應和一句我也去忙手裏的活。
兩人一起離開茶水間，前往地下實驗室，途中看到計海從辦公室裏行色匆匆出來，進入電梯回到一樓，估計是又翹班離開。
盛明安：“計海這人不盡快處理掉嗎？”
計海幾個月沒跟鄭河聯係，他們一致猜測是鄭河不覺得藍河科技會對鴻芯產生威脅，因此放棄竊取藍河科技核心技術，同時放棄計海這顆棋子。
但陳驚璆至今沒處理掉計海，盛明安有些不解。
“他在也不礙事。”陳驚璆說：“而且我希望能物盡其用。”
言下之意，現在弄走計海不能利益最大化。
盛明安‘哦’了聲，想起什麽似的，提醒道：“陳天鶴跟鴻芯可能有點關係。”
陳驚璆側過臉，目光有些銳利：“明安怎麽知道？”
明安？
沒人這麽喊過他，但最近陳驚璆幾次脫口而出都這麽喊，脫掉一個姓氏隻喊名字顯得無比親近曖昧。
盛明安回他：“前年外公公司董事強烈要求投資鴻芯，所以我留意到鴻芯的同時，也發現陳天鶴和鴻芯的關係有些奇怪。我懷疑，陳天鶴很可能是鴻芯幕後老板。”
他當然不能說是係統告訴他這個秘密。
陳驚璆低聲：“隻要你注意到，果然就瞞不過你。”
這話的意思是他也早就察覺到陳天鶴和鴻芯之間的關係？
陳驚璆：“你放心，我早有防備。”
盛明安回應了聲，揮揮手，去換了一身進無塵恒溫實驗室的裝備，進入實驗室。陳驚璆也進去忙碌了一陣，期間被林成建喊出來。
林成建：“曹書記找你。”
陳驚璆摘下麵罩和口罩，脫手套的動作一頓，“津市市委副書記曹文翰？”
林成建：“對。”
陳驚璆腦子裏梳理了一遍近來發生的事，最終笑說：“看來鴻芯撐不下去就快宣告破產了。陳天鶴居然連做個樣子也沒有就直接放棄，不過曹文翰找到藍河科技，應該是鴻芯破產的風波波及麵超過我們當初的預估。”
他對陳天鶴非常了解，知道這個人唯利是圖，不可能真費力燒錢搞光刻機。
鴻芯和革芯又是同行項目，他一直暗中關注鴻芯項目的研發進度，而且非常清楚對方光刻機的研發進度，畢竟不是隻有鄭河想得出臥底這一招。
鴻芯會破產，早晚的事。
脫掉手套和身上的實驗服，整齊掛好，標上名牌，關上櫃門，陳驚璆套上一件薄款休閑西裝外套，大步向外走去。
“曹文翰走上藍河科技，應該有人指點。”林成建說。
陳驚璆：“陳天鶴肯定是其中一個。”
兩人一前一後回到頂樓見親自來訪的曹文翰，辦公室大門關起來，雙方不知道在裏頭談了什麽。等日頭漸漸西斜，曹文翰才滿麵春風的出來，同送他到電梯門口的陳驚璆握手就走了。
曹文翰訪問藍河科技，沒怎麽驚動別人，但回去市政府大樓便著手處理鴻芯落下來的一係列麻煩，動作雷厲風行，甚至有點破罐破摔無所謂津市半導體產業的發展，不再急於周旋美國商務部。
一時間更是人心惶惶。
***
五月初，鴻芯苦苦支撐，賣掉價值4億的光刻機，抵押設備和土地，緩解資金困窘，但芯片斷供一日未解決，就是再多錢填進去也毫無用處。
同樣受芯片斷供拖累的公司還有華興，以及其他諸多下遊產業。
半導體業界內其他關聯公司眼看華興和鴻芯被美國商務部簡單一個芯片出口禁令就狼狽至此，不由產生唇亡齒寒之感，因此私底下悄悄出力，盡量拖延生存時間。
水木大學的教授研發出光刻機雙工作台這一消息傳出，成為業界一劑振奮劑，為萎靡不振的華國半導體產業注入一點蓬勃的力量。
五月底，藍河科技實驗室內，光源係統進入驗收階段。
與春城光機所合作，由春城光機所入股的國科精密提供的光學係統（一係列精密鏡頭、反射鏡和透鏡等光學元件係統），在此光學係統的基礎上進行光源係統的實驗驗收。
盛明安擔任該光源係統總工程師，左手旁是程院長，右手是陳驚璆，身後分別是雷客一行人以及程院長帶來的研發團隊。
原本光源係統研發進程沒這麽快，但有了程院長的研發團隊便如虎添翼，進程迅速縮短一半。
現在正是光源係統的驗收時刻，不是在電腦軟件上運行的仿真建模，而是真實設備的光源係統實驗驗收階段！
雷客緊張的吞咽口水，眼角餘光瞥見杜頌這家夥緊張得手臂打擺！
真沒出息！
他這麽想著，渾然不知道自己的表現也好不到哪去。
在場估計沒人不緊張，哦，盛明安除外，任何重大科學工程驗收階段，他都表現得非常淡定，好像一個局外人，讓人即羨慕又嫉妒。
程院長看了眼右邊的電子表，此刻時間是19點42分31秒。
他輕聲說：“開始吧。”
頓了頓，程院長說：“盛工，你來吧。”
“唔？”盛明安有點詫異，老實說程院長無論資曆還是輩分都比他高幾輪，被長輩喊‘盛工’、謙讓，他不太好意思：“您喊我名字就行。光源係統的研發也有您的一份力，還是您來。”
程院長擺擺手笑著拒絕：“我這輩子扛過不少科學大工程的驗收階段，不至於跟年輕人搶一個光源係統的實驗驗收。再說光源係統主要是你一手策劃完成，我隻是個半路殺出的輔助，行了別推辭，再推讓下去該下班了。”
行吧。盛明安點點頭，示意身後研發團隊各就各位，緊盯前方全套的光源係統設備，沉著冷靜的說：“開始驗收。準備——”
“已啟動數據記錄，光源驗收記錄，功率消耗記錄。”
“靶材裝置確定裝載完畢。”
“電源確定。”
“三萬瓦二氧化碳脈衝激光器進入預熱狀態。”
“……”
接二連三的報告在空曠蒼白寂靜的實驗室中此起彼伏，每一句報告簡短有力，錯落有序，整潔飛快，無端感染在場其他等待驗收成果的研發團隊成員緊張期待的心情。
“啟動二氧化碳脈衝激光器！”
話音一落，盛明安按下開關按鈕，眾人抬頭看向前方恒溫無塵實驗室內的光源係統設備，一塵不染的銀白色設備在冷光下散發出奇妙無機質的機械美。
機械表麵很平靜，盛明安等人看不到內部正在發生的變化，他們隻能通過最終結果判斷是否成功，而過程很短暫、很快速，快到頻率一秒五萬次！
盛明安的黑科技係統可以窺探機械內部的變化，它切換視角幫助盛明安進入光源係統設備內部查看實驗。
視角先是銀白色的機械，瞬間穿入內部複雜得宛如一個巨大的機械加工廠的設備，時間和空間被虛化，內部一片黑暗，若鴻蒙未開的混沌宇宙。
突然前方一個閃亮的光點，先是四條頭發絲大小的曲線包圍成一個圓圈，圓圈中心一點亮光逐漸向外擴張，由圓點擴張成橢圓形，光越來越盛、越來越亮，猛然爆發出閃亮耀眼的白光，瞬間照亮黑暗的內部，一條細長發亮的紫光倏然躥出發光口，通過圓形長管，進入光束矯正器，通過能量轉換器……
最終擊中直徑30μm的靶材料（錫液滴）。
視角追隨其中一條光線，忽然向後拉遠，視角範圍內出現數以萬計的紫色細長光線穿過一個又一個圓形長管最後以平均兩次擊中同一靶材料電離錫原子，釋放等離子體，激發納米級光子，完成光刻機的曝光步驟。
視角再向後拉遠，饒是有著先進兩百年的科技技術的係統也不由為這號稱工業皇冠的euv工作時的內部所震撼。
激光經過多重反射鏡均勻化、收集，投影掩膜，擊中靶材料，獲取需求中的等離子體。
接下來是利用收集鏡收集等離子體發散的euv輻射匯聚成光源發送至光刻係統，並經由曝光係統獲取最終的ic晶圓。
但盛明安的團隊沒有做後麵的兩步，隻設計了光源係統的實驗設計。
一秒鍾五萬次的高頻率，不僅需要確保過程不出錯，還必須保證準度、精確度，可量產，以及功率利用最大化等等……
所以一次的實驗結果不能證明什麽，他們連續實驗多次，記錄數據作比對，計算出一個最優概率。
鍵盤劈裏啪啦的計算，所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜頌的胳膊，齜牙咧嘴：“giao！怎麽樣了？！”
杜頌也疼得齜牙咧嘴，差點猛男落淚：“我不知道。”
助手姑娘又沒想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，內心嗚嗚穿防塵服的盛工就算從頭包到腳還是無比帥氣，所以快點告訴她結果吧！
盛明安：“各組報告結果。”
來了！
眾人振奮！
一組報告：“二氧化碳脈衝激光器無損，功率消耗在預估範圍內，光線利用率成功達到2%！”
二組報告：“散熱係統啟動！散熱功能正常！”
三組報告：“傳感器反饋激光和液滴同步對準，激光等離子體在預估範圍內捕獲！”
四組報告……
隨著一個又一個與仿真預估無二的報告傳入眾人耳中，預示著光源係統設備實驗驗收圓滿完成！
眾人憋著一口氣沒出聲，就等著盛明安總結。
盛明安不負眾望，聽完各組結果報告，對著擴音器宣布：“高階光刻機光源係統技術研究項目圓滿通過驗收，”他稍稍提高音量，“我們的科研項目，激光等離子體極紫外光刻光源是——”
“13.5nm！”
原本想歡呼的眾人臉上剛升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐漸放大，呼吸急促，不敢置信，紛紛以為自己的耳朵壞了，他們出現了幻聽。
盛明安語氣裏流瀉出輕鬆的笑意：“恭喜大家。”
見眾人沒反應，他回頭，疑惑：“你們不滿意嗎？”
林成建也懵了，小心翼翼地詢問：“盛工，你剛才說13.5nm……不是16nm？”
同盛明安爭論了將近半個月早已震驚過的程院長好笑地環顧眾人表現不一的樣子。
雷客比林成建還小聲輕柔：“比asml euv的14nm還精確了0.5nm？”
杜頌捂著心髒，喃喃說道：“不是吧……我整天研究的就是這麽牛逼的玩意？”
助理姑娘掐得更狠了，但杜頌激動的靈魂和興奮的神經可以撫平身體的疼痛。
“啊，”盛明安下意識看向陳驚璆：“你們都有異議嗎？”
陳驚璆驚訝過後便是一笑：“沒有異議。他們驚喜過頭了。”
盛明安又看向林成建等人，誰知他們麵麵相覷，陷入沉默，一秒、兩秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”
猛然爆發的尖叫聲繼續震破實驗室的天花板，要不是固化玻璃隔絕了噪聲汙染不會影響到實驗室設備，熱愛實驗室設備的盛明安就該拉下臉，而負責掏錢買設備的陳驚璆應該會冷臉趕人出去了。
但無傷大雅的此刻，他們縱容每一個團隊成員盡情放縱無以言表的興奮和激動。